半導(dǎo)體濕制程過(guò)濾解決方案
?半導(dǎo)體制造業(yè)面臨的最大挑戰(zhàn)之一是硅晶片的表面污染。研究表明，沾污帶來(lái)的缺陷引起的芯片電學(xué)失效，比例高達(dá)80%。假若在晶圓制造環(huán)節(jié)中有污染物未能完全清除，輕則影響晶圓良率，重則導(dǎo)致一整片乃至成批晶圓報(bào)廢，因此，半導(dǎo)體清洗工藝是半導(dǎo)體制程中最關(guān)鍵的步驟之一。濕法工藝作為半導(dǎo)體工藝的重要組成部分，通過(guò)化學(xué)品(酸、堿、溶劑等)與超純水等液體介質(zhì)，對(duì)晶圓表面進(jìn)行刻蝕、清洗等處理，見(jiàn)下圖典型晶片清洗流程。
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邁博瑞的濾芯產(chǎn)品可以提供性能優(yōu)異的過(guò)濾解決方案，有專(zhuān)為半導(dǎo)體濕制程應(yīng)用中的SC1，SC2，49HF，HNO3，EKC， NMP等液體過(guò)濾打造，開(kāi)發(fā)了很多適合于多種料液的應(yīng)用濾芯，能夠有效地去除半導(dǎo)體工業(yè)用高純度化學(xué)品中的微粒，為提高半導(dǎo)體制程晶圓的良率保駕護(hù)航。
典型清洗槽工藝(以SC1 為例)
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半導(dǎo)體濕制程過(guò)濾產(chǎn)品
| 制程工藝 | 邁博瑞推薦濾芯系列* |
| 半導(dǎo)體濕制程過(guò)濾 | Wet-Fluoride系列全氟濾芯 半導(dǎo)體Wet濕制程用全氟濾芯 |
| Wet-Fluoride系列全氟濾芯囊式 半導(dǎo)體Wet濕制程用全氟囊式濾芯 | |
| Wet-Vast系列 半導(dǎo)體Wet濕制程用HDPE外殼的PTFE折疊過(guò)濾濾芯 | |
| Wet-Mega系列 半導(dǎo)體Wet濕制程用PP外殼的PTFE折疊過(guò)濾濾芯 | |
| Clean-Nova系列 半導(dǎo)體Clean制程用HDPE外殼的PES折疊過(guò)濾濾芯 | |
| Clean-Nova系列PES濾芯囊式 半導(dǎo)體Clean制程用囊式濾芯 | |
| Clean-Gard系列 半導(dǎo)體Clean制程用PP外殼的PES折疊過(guò)濾濾芯 |
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