產品描述
邁博瑞Wet-Fluoride系列濾芯為全氟結構的濾芯。這一系列的濾芯采用了高流速的PTFE膜,專為半導體Wet應用中的SC1,SC2,49HF,HNO3,EKC,NMP等液體過濾打造。
優良的濾芯設計,確保在使用時壓降低的同時兼具有較好的顆粒去除效果。全氟的材料保證了濾芯具有極低的溶出物或者其他可能對工藝造成污染的成分,同時在使用過程中提供了非常良好的過濾效果。
特點
- 優秀的流量和更長使用壽命
- 優秀的化學和溫度耐受性能
- 全氟結構和極低的溶出性能
- 便捷的預濕選項
- 100%濾芯完整性檢測
典型應用
半導體制程液體過濾
產品保證
工作特性
材 料 | 濾膜:PTFE 支撐層,外殼:PFA 密封圈:TEV/FFKM |
精 度 | 10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm, 0.2μm |
膜面積 | SX (φ68mm) 1.2 m2/10” MX (φ81mm) 1.8 m2/10” MY (φ81mm) 2.2 m2/10” MZ (φ81mm) 2.8 m2/10” |
最大使用條件 |
最大正向壓差 0.5 MPa (72 psi) @ 25 oC (77 °F) 0.2 MPa (29 psi) @ 100 oC (212 °F) |
包裝方式 | 干包裝;超純水預潤濕包裝 |
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